在精密測量領域，它將光學顯微鏡的放大功能與精密坐標測量系統巧妙融合，廣泛應用于工業制造、科研實驗等諸多場景。

工具顯微鏡的工作原理基于光學成像和坐標測量。通過光源照亮被測物體，光線經物鏡將物體放大成像，再由目鏡進一步放大供人眼觀察 ，總放大倍數一般在10X - 200X之間。與此同時，它配備高精度的坐標測量裝置，載物臺可在精密絲杠或導軌的驅動下，在X、Y軸方向精準移動，移動量通過旋轉刻度盤或數顯裝置讀取，精度通常可達1 - 10微米，載物臺或目鏡還能旋轉以測量角度 。如今許多它還配備數字化系統，可將測量數據輸入計算機處理。

它具備多種實用功能。在長度測量方面，能精準測定直徑、內孔、錐孔、孔距及槽距；角度測量時，各種刀具的輪廓角及樣板的角度都不在話下；測量螺紋時，螺紋的中徑、外徑、內徑、螺距、牙形角等幾何要素均可精確測量；對于形狀檢定，可按照直角坐標或極座標對樣板、沖模、凸輪等進行外形檢定。

以機械制造行業為例，在生產軸類零件時，它能測量軸的直徑、圓柱度，確保其符合設計要求；在電子工業中，可測量芯片引腳的間距、電容電阻的尺寸等微小電子元件參數。模具制造里，通過它的測量模具型腔尺寸，保障模具高精度制造 。科研領域，它能幫助觀察材料微觀結構，為研究提供數據支撐。

工具顯微鏡憑借高精度、多功能、非接觸測量以及操作簡便等優勢，成為工業檢測、逆向工程、模具與刀具校準等工作的得力助手，為保障產品質量和推動科研進展發揮著關鍵作用。