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- 機械系統：包含工作臺、立柱、滑架等部件。工作臺用于放置被測工件，能夠在多個方向上移動和調整；立柱和滑架等結構為光學系統的移動和定位提供支撐，確保測量操作的靈活性和準確性。 - 電氣系統：現代工具顯微鏡常配備電氣系統，用于控制照明亮度、驅動工作臺移動、數據采集與處理等功能，提高測量的自動化程度和效率。

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